SH2000+系列，搭載非制冷高速線(xiàn)陣CMOS探測(cè)器，是一款可見(jiàn)-近紅外譜段、結(jié)構(gòu)緊湊、支持高采樣率的光譜儀，可用于高速采集光譜檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域，例如CMP制程膜厚終點(diǎn)檢測(cè)等，也可應(yīng)用在生產(chǎn)線(xiàn)及科研實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域，提供高靈敏度測(cè)量功能，在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中，該系列具備強(qiáng)大的熱波長(zhǎng)穩(wěn)定性，系統(tǒng)熱穩(wěn)定性好。

結(jié)構(gòu)緊湊、支持高采樣率的光譜儀，可用于高速采集光譜檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。

1、CMP膜厚終點(diǎn)檢測(cè)